Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術

Sensofar共聚焦白光干涉儀 | 光譜反射技術

光譜反射能快速、精確、無損地測量薄膜，且無需制備任何樣本。

背景

薄膜

透明層沉積在表面上時，其反射率會變化。該系統獲取可見范圍內樣本的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到匹配的厚度。對于薄膜，厚度與光波長類似，我們沿著光譜獲得波浪狀的反射率響應。

主要特征

從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的時間內測得

   從 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

   不到 5 秒內采集

   一個物鏡可覆蓋 整個 范圍

   不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

光譜反射系統