Sensofar共聚焦白光干涉儀 | AI多焦面疊加技術

主動照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。

BACKGROUND

多焦面疊加原理

主動照明多焦面疊加技術利用了明場中存在景深的特點，樣品只有在的特定 z 范圍中對焦。 景深會根據物鏡的數值孔徑或光源波長而變化。 Z 高度的值是根據圖像的高對比度（清晰度或微小細節）來計算的，從而得出正確的對焦位置。

光學技術

我們的光學技術是通過專*的microdisplay來實現，光線會從光源 (LED) 發出，同時穿過microdisplay上陣列排布的光學元件，反射到達相機。 在這種情況下，microdisplay就像一面鏡子（100% 反射率）。 這種光學技術就像一個標準的視頻顯微鏡。 通過執行垂直掃描，可以在每個平面上捕獲明場圖像。

專*算法

克服多焦面疊加的限制

在較為光滑的表面上，對焦時會無法獲得足夠的信號來識別正確的焦點位置。 這通常是因為在光滑表面的上，會出現 3D 雜訊。 Sensofar 使用主動照明進行了改進，現在通過microdisplay 投射出人造紋理（棋盤圖案），即使在光滑表面上因為對比度差而在對焦時無法提供足夠的信號，也能獲得更可靠的對焦位置。

主要特點

該技術的亮點包括高斜率表面(高達 86o),掃描速度(3 mm/s）和較大的垂直范圍測量。

在散射表面上測量可達 86o 的斜率支援

主動照明允許在光滑表面上進行測量 

快速掃描，3 秒內拍攝200張圖像 

多個光源