掃描電鏡是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體工藝等領(lǐng)域的*備工具，它可以通過(guò)探測(cè)樣品表面激發(fā)出來(lái)的電子信號(hào)，對(duì)物質(zhì)微觀形貌進(jìn)行表征。在半導(dǎo)體工藝中，掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于器件結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)檢測(cè)和剖面分析方面，為生產(chǎn)和研發(fā)提供了其他測(cè)試分析儀器所無(wú)法提供的直接測(cè)量信息。

本期內(nèi)容，就讓我們一起來(lái)欣賞ZEM18鏡頭下的半導(dǎo)體世界~