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PicoFemto透射電鏡原位高溫力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，同時(shí)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊，可以在對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量。

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境（包括力、熱、光、電等），從而對(duì)材料或者器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征。

低溫液氮探針臺(tái) LN-4H-06主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。

干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。

超低震動(dòng)干式液氦光學(xué)液氦低溫恒溫器，使用氣體導(dǎo)熱隔震，實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)納米級(jí)的機(jī)械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響，產(chǎn)品設(shè)計(jì)安裝在光學(xué)隔震平臺(tái)上。

室溫自動(dòng)探針臺(tái) TZ-H-06高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMs，生物芯片等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。