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當前位置:首頁產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸探針臺及低溫系統SEM納米探針臺

SEM納米探針臺

產品簡介

SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

產品型號:
更新時間:2025-04-21
廠商性質:代理商
訪問量:851
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SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

SEM納米探針臺

    • 結構緊湊,高剛性

    • 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

    • 內部根據需求可增加位置反饋

    • 應用:納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

    • 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應用案例:

SEM納米探針臺        SEM納米探針臺

對二維材料的電學測量              對器件的電學測量

SEM納米探針臺        SEM納米探針臺

對芯片的電學測量             對一維材料的電學測量




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