SEM冷凍真空傳輸系統

SEM冷凍真空傳輸系統示意圖

SEM冷凍真空傳輸系統參數

•獨立控制系統

•獨立真空系統

•高匹配360°(無限)旋轉冷臺

•冷臺傾轉角度>55°

•冷臺溫度≤180℃

•冷臺降低溫時間:≤30min

•冷阱溫度≤l90℃

•冷阱降低溫時間:≤l5min

•冷臺、冷阱設計烘烤功能

•烘烤溫度:80℃

•提供定制化樣品梭服務

360°旋轉冷臺

功能：用于裝載樣品梭及提供低溫保護

參數

•旋轉角度：0-360°

•控溫范圍：-180℃~80℃

•控溫精度：≤土0.1℃

•降溫速度：≤30min

冷阱

功能：低溫保護、吸附污染物

參數

•控溫范圍：≤-190℃

•控溫精度：≤士0.5℃

•降溫速度:≤15min

真空轉移腔

功能：用于樣品的真空轉移

參數

•可實現手套箱-FIB真空相互轉移

•可實現液氮內樣品-FIB冷凍制樣真空轉移

真空過度倉

功能：實現樣品到電鏡的真空過度轉移

參數

•操作快速

•便捷獨立真空系統

•匹配電鏡真空

低溫系統

功能：用于為冷臺、冷阱提供冷源

參數

•液氮容積35L

•持續(xù)工作時間>8h

•設計不停機添加液氮端囗

控制系統

功能：用于系統的控制、集成和交互

參數

•溫度顯示及控制

•真空系統集成與控制

•選配液氮工作站，可滿足樣品的冷進冷出需求