奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7具有多功能性，可以提供高性能的、三軸亞微米級(jí)精度的零件、電子元件的測(cè)量。無(wú)論樣品大或小，簡(jiǎn)單或復(fù)雜，初學(xué)者或使用熟練者進(jìn)行測(cè)量，奧林巴斯STM7系列，可以配置滿足您需要的測(cè)量顯微鏡。

奧林巴斯測(cè)量顯微鏡STM7具有優(yōu)良的多用途性，能夠以亞微米精度實(shí)現(xiàn)對(duì)零部件和電氣組件的高性能三軸測(cè)量。無(wú)論待測(cè)樣品是大的還是小的，測(cè)量?jī)?nèi)容是簡(jiǎn)單的還是復(fù)雜的，測(cè)量人員是新手還是專家，奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品。

STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能

STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

明場(chǎng)圖像

暗場(chǎng)圖像

微分干涉圖像

偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

STM7-LF FEM 分析

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保大程度地降低誤差。

作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)

常見問題

短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。

目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。

由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。

STM7解決方案

共有四種正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。

采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。

300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50
50mm x 50mm

STM7-CS100
100mm x 100mm

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300
300 mm x 300 mm