蔡司 GeminiSEM系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

GeminiSEM系列：高分辨，不挑樣

長(zhǎng)久以來(lái)，蔡司 GeminiSEM系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡一直是高分辨力與寬樣品適用性的代名詞。無(wú)論您從事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以滿(mǎn)足您的需求。創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和新型樣品腔室設(shè)計(jì)可讓您擁有更佳的圖像質(zhì)量、易用性和靈活性。

蔡司 GeminiSEM系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸沒(méi)式物鏡依然可以輕松實(shí)現(xiàn)1 kV以下的亞納米級(jí)分辨力。以下內(nèi)容可以使您進(jìn)一步了解Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三大設(shè)計(jì)，探索蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM的應(yīng)用潛能。

不導(dǎo)電礦物斷裂表面的納米級(jí)特征

·       更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實(shí)現(xiàn)各種樣品的高分辨成像、分析和各種應(yīng)用需求的拓展。

·       更強(qiáng)大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460可應(yīng)對(duì)更加復(fù)雜的分析工作。連續(xù)可調(diào)的大束流使您可以在成像和分析條件之間無(wú)縫切換。

·       更表征體驗(yàn) - 蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學(xué)引擎，讓它在各種工作條件下均可發(fā)揮該系列出色的分辨率特性。

（一）、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

產(chǎn)品系列：了解三種型號(hào)的所有詳情，選擇符合您應(yīng)用需求的一款。

1、蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360
蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360，它是中心實(shí)驗(yàn)室的得力助手，在科研和工業(yè)領(lǐng)域中具有高通用性。

（1） 靈活的樣品適用性

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360是中心實(shí)驗(yàn)室的理想選擇，在科研和工業(yè)中具有非常高的通用性。

·       產(chǎn)品搭載Gemini 1鏡筒，在低電壓下依然具有高分辨成像能力，讓您輕松獲取樣品極表面高分辨信息。

·       通過(guò)鏡筒內(nèi)二次電子和背散射電子同時(shí)成像，即使對(duì)于電子束敏感樣品也可以獲取高分辨的表面形貌和成分襯度。

·       在低真空下（NanoVP）拍攝不導(dǎo)電樣品時(shí)，依然可以通過(guò)鏡筒內(nèi)Inlens探頭獲得優(yōu)異襯度：無(wú)荷電高分辨。

兩個(gè)平行設(shè)計(jì)的鏡筒內(nèi)探測(cè)器為樣品表征提供更全面的信息

（2）出色的用戶(hù)體驗(yàn)

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可提供出色的用戶(hù)體驗(yàn)：該產(chǎn)品具有廣闊的視野范圍和大體積腔室，可以輕松檢測(cè)大尺寸樣品。

·       利用蔡司ZEN Connect軟件可在多種顯微鏡（例如光鏡、電鏡、X射線(xiàn)顯微鏡）之間進(jìn)行無(wú)縫導(dǎo)航。

·       使用蔡司自動(dòng)對(duì)焦和智能探測(cè)器等自動(dòng)功能輕松采集清晰、銳利的圖像。

·       具有對(duì)稱(chēng)的EDS端口和共面的EDS / EBSD幾何設(shè)計(jì)，可高效執(zhí)行成像和分析工作流程。

·       可有效延長(zhǎng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間，并讓您從容地進(jìn)行計(jì)劃內(nèi)維護(hù)。

多功能的樣品腔室滿(mǎn)足您不同應(yīng)用需求的個(gè)性化配置。

（3）優(yōu)異的功能擴(kuò)展性

·       可升級(jí)的系統(tǒng)可有效減少重復(fù)投資。因此，我們將場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360融入蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中。

·       ZEN軟件生態(tài)系統(tǒng)包括：ZEN Connect可關(guān)聯(lián)多儀器、多尺度數(shù)據(jù)；ZEN Intellesis是基于AI的自動(dòng)分析工具； ZEN數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可以讓您在一個(gè)數(shù)據(jù)中心節(jié)點(diǎn)上管理不同儀器的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

·       可訪(fǎng)問(wèn)作為APEER社區(qū)成員的其他用戶(hù)創(chuàng)建的工作流和腳本，幫助您解決難題。

·       .明確的升級(jí)路徑幫助您的設(shè)備更好地升級(jí)新的功能。

ZEN Connect將多種表征手段的數(shù)據(jù)進(jìn)行整合，獲取樣品全面信息。

2、蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460

蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460，具有更強(qiáng)大的分析能力，可進(jìn)行高效分析和自動(dòng)化的工作流程。

（1） 利用高分辨率和大束流

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460專(zhuān)為有挑戰(zhàn)性的分析任務(wù)而設(shè)計(jì)，可進(jìn)行高效分析和自動(dòng)的工作流程。

·       Gemini 2鏡筒可快速執(zhí)行高分辨成像和大束流分析：從小束流-低電壓無(wú)縫切換到大束流-高電壓。

·       并行使用多個(gè)探測(cè)器，提供樣品的數(shù)據(jù)。

·       多接口腔室設(shè)計(jì)可兼容更多探測(cè)器，以進(jìn)行高效分析。

·       使用新的VP模式在大束流下采集EBSD譜圖可達(dá)4000點(diǎn)/秒的標(biāo)定率。

·       對(duì)于化學(xué)成分和晶體取向的分析，具有兩個(gè)對(duì)稱(chēng)的EDS端口和共面的EDS/EBSD幾何學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)更快速度且無(wú)陰影的面分析結(jié)果。

幫助您快速分析的同時(shí)兼顧大束流和高分辨。

（2） 定制化的自動(dòng)化工作流程

·       強(qiáng)大的分析功能與自動(dòng)化流程相結(jié)合，讓您的分析工作更進(jìn)一步。并且蔡司還可以通過(guò)Python腳本來(lái)定制您自己的自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)。

·       修改實(shí)驗(yàn)過(guò)程并根據(jù)您的要求定制結(jié)果輸出。

·       STEM三維成像功能：將自動(dòng)傾斜和旋轉(zhuǎn)與蔡司特征點(diǎn)跟蹤相結(jié)合。將所有自動(dòng)對(duì)齊的圖像發(fā)送到專(zhuān)有的3D重構(gòu)軟件后，生成具有納米級(jí)分辨率的3D形貌。

·       當(dāng)您需要測(cè)試材料的加工特性時(shí)，蔡司將為您提供自動(dòng)化的原位加熱和拉伸實(shí)驗(yàn)平臺(tái)：它可以讓您自動(dòng)觀(guān)察在加熱和拉伸條件下的材料，同時(shí)動(dòng)態(tài)繪制應(yīng)力-應(yīng)變曲線(xiàn)。

多功能的樣品腔室滿(mǎn)足您不同應(yīng)用需求的個(gè)性化配置。

（3） 為您帶來(lái)更多可能性

·       基于Gemini 2鏡筒設(shè)計(jì)，即使在低電壓時(shí)，也可以通過(guò)調(diào)高束流密度來(lái)提高分析能力。

·       能夠使系統(tǒng)與各種配件相兼容。多功能型腔室不僅可以配置分析附件，還可以配置原位臺(tái)、冷凍傳輸系統(tǒng)和納米探針。

·       .因此，您可以隨時(shí)對(duì)儀器進(jìn)行配置更改和升級(jí)。

·       所有GeminiSEM均已融入蔡司ZEN core生態(tài)系統(tǒng)，您可以利用ZEN Connect、ZEN Intellesis和ZEN分析模塊，以獲取報(bào)告和GxP工作流程。

讓您的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460成為原位實(shí)驗(yàn)室。

3、蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560

蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560：表征體驗(yàn)，讓您輕松對(duì)困難樣品進(jìn)行1 kV以下的高分辨、無(wú)畸變成像。

（1） 表面成像的新標(biāo)準(zhǔn)

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560全面提升你的電鏡體驗(yàn)，即使在1kV以下也可以很輕松地對(duì)電子束敏感的樣品進(jìn)行無(wú)畸變高分辨的成像。

·       Gemini 3鏡筒搭載Nano-twin物鏡和新型電子光學(xué)引擎Smart Autopilot，可在1 kV以下對(duì)樣品進(jìn)行1 nm以下分辨率的無(wú)漏磁成像-無(wú)需樣品臺(tái)偏壓或單色器。

·       通過(guò)新的可變氣壓模式和檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)不導(dǎo)電及氣壓敏感的樣品進(jìn)行成像：將真空敏感樣本通過(guò)低真空樣品交換室進(jìn)入電鏡腔室，可以維持樣品最本征的結(jié)構(gòu)后快速成像。

·       利用帶雙EDS接口的新型大型腔室，輕松分析復(fù)雜樣品。通過(guò)優(yōu)化的探測(cè)器幾何設(shè)計(jì)確保快速、無(wú)陰影的圖像。

在低電壓下表征不導(dǎo)電礦物顆粒的表面：GeminiSEM 560，800 V, Inlens SE。

（2） 融合專(zhuān)業(yè)知識(shí)

·       新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot可全面提升對(duì)高難度樣品的成像體驗(yàn)。

·       新系統(tǒng)的大視野功能可讓您輕松進(jìn)行樣品導(dǎo)航。

·       Smart Autopilot可讓您節(jié)省時(shí)間，同時(shí)避免進(jìn)行復(fù)雜的的光路對(duì)中：該引擎可自動(dòng)調(diào)整光路，讓圖像從一倍放大至五十萬(wàn)倍時(shí)始終保持光路對(duì)中聚焦良好的狀態(tài)。

·       Smart Autopilot包含蔡司自動(dòng)對(duì)焦和自動(dòng)光路對(duì)中功能，可在幾秒內(nèi)為您提供清晰、銳利的圖像。

·       Python腳本能夠在自動(dòng)化工作流程（例如3D STEM斷層成像）中集成軟件功能。

CeO2納米顆粒的3D STEM成像。GeminiSEM 560，aSTEM，明場(chǎng)像，30 kV。

（3） 體驗(yàn)出色的襯度

·       樣品拍攝中的成像條件，意味著您結(jié)合了參數(shù)組合來(lái)獲得的圖像：所以拍圖訣竅就是找到它。

·       Gemini鏡筒技術(shù)及其無(wú)漏磁成像技術(shù)和全新的Gemini 3鏡筒可使您找到這些成像條件，并從樣品中發(fā)現(xiàn)新的信息。

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560可以輕松拍攝磁疇襯度，它在樣品上的磁場(chǎng)小于2 mT。

·       使用帶能量過(guò)濾器的Inlens背散射探測(cè)器進(jìn)行能量分辨背散射電子成像，同時(shí)通過(guò)環(huán)形背散射探測(cè)器進(jìn)行角分辨背散射電子成像。

·       通過(guò)ZEN Connect對(duì)所有數(shù)據(jù)進(jìn)行整合，輕松生成報(bào)告。

成像條件：釹鐵硼磁鐵的磁疇襯度

（二）、洞悉產(chǎn)品背后的科技----Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)

1、 Gemini 1：經(jīng)典傳承

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡可實(shí)現(xiàn)高分辨成像離不開(kāi)其性能優(yōu)異的電子光學(xué)鏡筒。Gemini可在任意樣品上展現(xiàn)出色的成像分辨力，尤其是在低加速電壓下仍可輕松實(shí)現(xiàn)高分辨成像。

Gemini鏡筒具有以下三個(gè)主要特點(diǎn)：

·       Gemini物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電透鏡和磁透鏡，在提高其電子光學(xué)性能的同時(shí)將它們對(duì)樣品的影響降至更低。即使對(duì)具挑戰(zhàn)的樣品（例如磁性材料）也能進(jìn)行高品質(zhì)成像。

·       Gemini beam booster技術(shù)具有鏡筒內(nèi)的電子加減速功能，可確保獲得小束斑和高信噪比；

·       Gemini 鏡筒內(nèi)探測(cè)器的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)信號(hào)的高效采集，實(shí)現(xiàn)二次電子（SE）和背散射電子（BSE）同時(shí)成像，有效縮短了成像時(shí)間。

為您的應(yīng)用帶來(lái)以下便利：

·       經(jīng)校準(zhǔn)后的SEM具有長(zhǎng)期的穩(wěn)定性，您在使用時(shí)只需要簡(jiǎn)易地設(shè)定各項(xiàng)系統(tǒng)參數(shù)，如束流和加速電壓等。

·       無(wú)漏磁的透鏡設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)畸變的高分辨成像。

·       鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器具有高效的SE 1信號(hào)采集效率，給您呈現(xiàn)來(lái)自樣品極表面的真實(shí)形貌圖像；

·       鏡筒內(nèi)背散射探測(cè)器設(shè)計(jì)理念使您在極低電壓下也可獲得真實(shí)的成分襯度圖像。

2、 Gemini 2：分析利器

要獲取樣品更加完整的信息，掃描電子顯微鏡必須在成像和分析方面都具備優(yōu)異的性能，同時(shí)能給用戶(hù)簡(jiǎn)單易用的操作體驗(yàn)。

Gemini 2鏡筒可滿(mǎn)足您的以下需求：

·       場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460配有雙聚光鏡的Gemini 2鏡筒

·       在確保獲得出色的小束斑的同時(shí)，束流連續(xù)可調(diào)

·       可在小束流的高分辨成像與大束流的分析模式之間進(jìn)行無(wú)縫切換

·       調(diào)整拍攝參數(shù)后無(wú)需對(duì)電子束進(jìn)行重新對(duì)中，節(jié)省您的時(shí)間和精力

·       操作靈活易用，大束流密度下的高分辨成像、小束流分析、大束流分析等各類(lèi)不同的工作模式，一切由您而定

·       物鏡無(wú)漏磁設(shè)計(jì)可以讓您獲得無(wú)畸變的EBSD花樣，還可以在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨成像

·       傾斜樣品時(shí)不影響電子光學(xué)性能。即使磁性樣品也能輕松成像

·       選擇適合樣品的消荷電模式：局部電荷中和，腔室內(nèi)可變氣壓或NanoVP

3、 Gemini 3：前沿

低電壓，高分辨是場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）進(jìn)化的方向。

（1） 這對(duì)于以下樣品非常重要：

·       電子束敏感樣品

·       不導(dǎo)電材料

·       獲得真實(shí)的樣品極表面信息，而不會(huì)有來(lái)自樣品深層中的背景信號(hào)

Gemini 3光路設(shè)計(jì)針對(duì)低電壓和極低電壓下的分辨力以及襯度增強(qiáng)進(jìn)行了優(yōu)化，可確保在從1 kV到30 kV的所有工作條件下獲得優(yōu)異分辨力。Gemini 3鏡筒擁有兩個(gè)可協(xié)同工作的組件：Nano-twin透鏡和新型電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。其他技術(shù)特征包括高分辨力模式和可選的樣品臺(tái)減速模式。

（2） Nano-twin透鏡：

·       低電壓和超低電壓下的亞納米分辨力成像，具有出色的信號(hào)檢測(cè)效率

·       低電壓下的像差是傳統(tǒng)Gemini物鏡的三分之一——施加在樣品上的磁場(chǎng)也是傳統(tǒng)Gemini物鏡的三分之一，約為1 mT

·       優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)以及靜電和磁場(chǎng)分布

·       低電壓成像條件下增強(qiáng)的鏡筒內(nèi)探測(cè)器的信號(hào)

這些特點(diǎn)為1 kV以下的亞納米成像提供了可能，而無(wú)需將樣品浸入電磁場(chǎng)中。

（3） Smart Autopilot
Smart Autopilot與Nano-twin透鏡結(jié)合使用，可為您帶來(lái)以下優(yōu)勢(shì)：

·       通過(guò)聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束會(huì)聚角，可在任意電壓下獲得優(yōu)異分辨率

·       通過(guò)新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航與高分辨成像之間的無(wú)縫過(guò)渡