全自動臺階儀 JS3000B

國產全自動臺階儀 JS3000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務和多點掃描

▲ 批量測試晶圓，批量處理數據等

系統組成

▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

▲ JS300B

選配品

▲ 高度校準標樣

▲ FFU模塊

▲ 靜電消除模塊

▲ E84接口

軟件界面

掃描圖

                                                                                                   18nm樣品

                                                                                                  68um樣品