在精密光學(xué)、半導(dǎo)體和制造領(lǐng)域，表面形貌測量對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量控制至關(guān)重要。ZYGO共聚焦激光干涉儀結(jié)合共聚焦顯微技術(shù)與激光干涉測量原理，為納米級(jí)表面檢測提供了有效的解決方案。

技術(shù)特點(diǎn)

ZYGO共聚焦激光干涉儀的主要優(yōu)勢包括：

• 高分辨率測量：可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)垂直分辨率，適用于超光滑表面檢測

• 非接觸測量：避免接觸式測量可能帶來的樣品損傷

• 快速掃描：通過高速數(shù)據(jù)采集提升檢測效率

• 寬范圍適用：兼容從粗糙到超光滑的不同表面特性

典型應(yīng)用場景

該設(shè)備已成功應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域：

• 光學(xué)元件檢測：透鏡、反射鏡等光學(xué)表面形貌測量

• 半導(dǎo)體制造：晶圓、光刻掩模版的表面質(zhì)量評(píng)估

• 精密加工：機(jī)械零件、模具的表面粗糙度分析

• 科研領(lǐng)域：新材料表面特性的微觀研究

智能化操作體驗(yàn)

設(shè)備配備專業(yè)分析軟件，提供：

• 自動(dòng)化測量流程

• 三維形貌重建功能

• 多種表面參數(shù)分析選項(xiàng)

• 用戶友好的操作界面

結(jié)語

ZYGO共聚焦激光干涉儀憑借其測量精度和可靠性，為工業(yè)檢測和科學(xué)研究提供了有力的表面分析工具。如需了解該設(shè)備的詳細(xì)技術(shù)參數(shù)或應(yīng)用案例，歡迎咨詢ZYGO專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)獲取更多信息。ZYGO共聚焦激光干涉儀高精度表面測量選擇