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產品簡介
ZYGO白光干涉儀：高精度非接觸式測量ZYGO白光干涉光學輪廓儀為精密制造行業提供可靠的表面測量方案，支持快速、非接觸式檢測，提升質量控制效率。
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ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于多種材料表面的三維形貌測量。其非接觸式測量方式避免了對樣品的物理損傷，適用于多種材料和復雜表面的測量。設備具備高精度和高分辨率，支持多種測量模式，適用于不同表面特性樣品的測量。ZYGO白光干涉儀：高精度非接觸式測量
產品性能
•測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達0.5μm
•重復性：優于0.1%
•支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結構
儀器主體采用高穩定性鋁合金框架，光學部件選用低熱膨脹系數玻璃，確保長期測量穩定性。載物臺采用防震設計，減少環境振動干擾。
參數表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結構 |
用途
•半導體晶圓檢測
•光學鏡面質量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機械加工表面評估
使用說明
1.開機預熱10分鐘，確保系統穩定。
2.放置樣品于載物臺，調整焦距至干涉條紋清晰。
3.選擇測量模式，設定掃描參數。
4.軟件自動分析數據，生成3D形貌圖及關鍵參數。
ZYGO白光干涉儀：高精度非接觸式測量 ZYGO白光干涉光學輪廓儀