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PRODUCTS CNTER舜宇顯微鏡:研究級的“全能選手"工業檢測領域對顯微鏡的需求日益多元化,既要滿足高分辨率成像,又需兼顧操作舒適性與功能擴展性。舜宇CX40M正置金相顯微鏡憑借其模塊化設計與人性化細節,成為金屬材料分析、電子元件檢測等場景的理想選擇。
舜宇顯微鏡:研究級的“全能選手"
在科研與工業檢測領域,顯微鏡需同時滿足高分辨率、多功能性與操作舒適性。舜宇RX50M研究級正置金相顯微鏡通過創新的光學設計與人性化交互,成為材料科學、半導體檢測等場景的核心工具。
RX50M的觀察筒采用30°傾斜設計,支持瞳距調節(50-76mm)與三檔分光比(雙目:三目=100:0/20:80/0:100),用戶可同時通過目鏡與攝像系統觀察樣品,提升數據記錄效率。機身集成數字調光屏,可實時顯示照明電壓,并支持一鍵切換透反射照明模式,簡化復雜場景下的操作流程。
光學系統:搭載無限遠色差校正系統與U-DICR微分干涉組件,可將0.1μm級的表面高低差轉化為高對比度明暗差。例如,在檢測精密磁盤表面劃痕時,DIC模式可呈現立體浮雕效果,劃痕深度測量誤差小于0.05μm。
偏振系統:內置360°旋轉式檢偏器,用戶無需移動樣品即可觀察不同偏振角度下的圖像。在半導體檢測中,該功能可有效消除晶圓表面反射雜光,提升缺陷識別率。
照明系統:透反射照明裝置兼容12V/100W超長壽命鹵素燈,配合搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9),實現均勻照明與低倍率色差校正。例如,在檢測大型金屬鑄件時,反射照明模式可覆蓋78mm高度的樣品,滿足無損檢測需求。
物鏡系統:提供明暗場半復消色差物鏡(5X-100X),數值孔徑(N.A.)達0.9,工作距離1.0-19.5mm,適配從薄片到厚樣品的檢測需求。
載物臺:4英寸(102×102mm)玻璃載物臺,支持Y軸鎖定功能,防止陣列器件檢測時漏檢。
關鍵參數:
項目 | 參數 |
---|---|
總放大倍率 | 50X-1000X |
目鏡 | PL10X/25mm(超寬視野目鏡) |
微調精度 | 0.001mm |
濾色片插槽 | 4個(支持LBD、ND50等) |
RX50M支持明場、暗場、斜照明、DIC與偏光觀察模式。在檢測LCD導電粒子時,用戶可先使用明場模式定位粒子,再切換至DIC模式測量粒子尺寸;在地質材料分析中,搭配藍色濾色片(≤480nm)可增強礦物熒光效應。操作時,建議利用物鏡轉換器的低手位設計,快速切換放大倍率,同時通過數字調光屏監控照明強度,避免過曝。
東莞某半導體企業引入RX50M后,將其應用于晶圓缺陷檢測,工程師評價稱:“其DIC模式與360°偏振系統顯著提升了缺陷識別效率,單片晶圓檢測時間從15分鐘縮短至8分鐘。"目前,該型號已服務于中科院、清華大學等科研機構,以及華為、三星等企業。
舜宇顯微鏡:研究級的“全能選手"