在半導(dǎo)體封裝、光學(xué)元件加工、精密模具制造等對(duì)測(cè)量精度與效率要求更高的場(chǎng)景中，手動(dòng)調(diào)節(jié)的臺(tái)階儀已難以滿足批量檢測(cè)與精細(xì)測(cè)量需求，澤攸全自動(dòng)臺(tái)階儀 JS2000B 憑借全自動(dòng)化操作、高分辨率測(cè)量能力與穩(wěn)定的運(yùn)行表現(xiàn)，成為中檢測(cè)場(chǎng)景的實(shí)用工具，為工業(yè)生產(chǎn)與科研實(shí)驗(yàn)提供精準(zhǔn)的臺(tái)階高度、薄膜厚度等數(shù)據(jù)支持。
一、產(chǎn)品細(xì)節(jié)：自動(dòng)化設(shè)計(jì)提升檢測(cè)效率
JS2000B 采用臺(tái)式一體化結(jié)構(gòu)，整體尺寸優(yōu)化為 500mm×400mm×450mm，重量 40kg，在保證設(shè)備穩(wěn)定性的同時(shí)，仍能靈活放置于實(shí)驗(yàn)室或車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)操作臺(tái)上。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度冷軋鋼板，表面經(jīng)過(guò)靜電噴涂處理，具備出色的抗腐蝕能力與抗沖擊性，能抵御車(chē)間環(huán)境中的油污、粉塵侵蝕，長(zhǎng)期使用后仍保持良好外觀與結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
操作界面升級(jí)為 10 英寸觸控顯示屏，支持多點(diǎn)觸控操作，界面布局清晰，包含 “測(cè)量任務(wù)設(shè)置"“數(shù)據(jù)可視化分析"“設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控" 三大功能模塊。操作人員可通過(guò)觸控屏直接繪制測(cè)量路徑、設(shè)置測(cè)量參數(shù)，無(wú)需外接電腦即可完成復(fù)雜檢測(cè)任務(wù)。設(shè)備配備 USB3.0 接口、以太網(wǎng)接口與 HDMI 接口，USB3.0 接口支持高速數(shù)據(jù)導(dǎo)出（傳輸速率達(dá) 5Gbps），以太網(wǎng)接口可實(shí)現(xiàn)設(shè)備與工廠 MES 系統(tǒng)的對(duì)接，實(shí)時(shí)上傳測(cè)量數(shù)據(jù)，HDMI 接口則方便外接顯示器進(jìn)行多人協(xié)作分析。
樣品臺(tái)采用全自動(dòng)電動(dòng)控制，X 軸最大行程 150mm、Y 軸最大行程 100mm、Z 軸最大行程 2000μm，搭配高精度滾珠絲杠與光柵尺（分辨率 0.1μm），移動(dòng)精度達(dá) ±0.02μm，能精準(zhǔn)定位樣品的任意測(cè)量區(qū)域。樣品臺(tái)表面配備真空吸附系統(tǒng)，支持直徑 5mm-150mm 的樣品固定，無(wú)論是小型芯片、圓形光學(xué)鏡片還是方形電路板，都能牢牢固定，避免測(cè)量過(guò)程中樣品移位。同時(shí)，樣品臺(tái)還具備自動(dòng)找平功能，可通過(guò)軟件控制調(diào)整臺(tái)面水平度，確保測(cè)量基準(zhǔn)一致。
二、產(chǎn)品性能：高精度與穩(wěn)定性兼顧
JS2000B 延續(xù)接觸式電感測(cè)量原理，升級(jí)采用進(jìn)口紅寶石測(cè)針（直徑 3μm），測(cè)針經(jīng)過(guò)超精密拋光處理，表面粗糙度≤0.01μm，能更精準(zhǔn)地接觸樣品表面，減少因測(cè)針磨損導(dǎo)致的測(cè)量誤差。設(shè)備的測(cè)量范圍擴(kuò)展至 0-2000μm，測(cè)量分辨率提升至 0.001μm，可滿足更精細(xì)的測(cè)量需求，例如半導(dǎo)體芯片鍵合線的高度差（精度要求 ±0.05μm）、光學(xué)薄膜的厚度（精度要求 ±0.01μm）、精密模具的微小臺(tái)階（精度要求 ±0.02μm）等。
在測(cè)量穩(wěn)定性方面，JS2000B 的重復(fù)性（同一位置連續(xù)測(cè)量 20 次），確保批量樣品檢測(cè)數(shù)據(jù)的一致性。設(shè)備內(nèi)置雙溫度補(bǔ)償模塊，不僅能修正環(huán)境溫度（10℃-40℃）波動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響，還能補(bǔ)償設(shè)備自身運(yùn)行產(chǎn)生的溫度變化（如電機(jī)發(fā)熱），進(jìn)一步提升測(cè)量精度。
測(cè)量效率大幅提升，支持 “多區(qū)域連續(xù)測(cè)量" 與 “自動(dòng)路徑規(guī)劃" 功能。操作人員可在軟件中預(yù)設(shè)多個(gè)測(cè)量點(diǎn)或測(cè)量線，設(shè)備會(huì)按照規(guī)劃路徑自動(dòng)完成所有區(qū)域的測(cè)量，單次測(cè)量時(shí)間最短可至 1 秒（快速模式），精準(zhǔn)模式下單次測(cè)量時(shí)間約 3 秒。以 100mm×100mm 的樣品為例，設(shè)置 50 個(gè)測(cè)量點(diǎn)，設(shè)備僅需 3 分鐘即可完成全部測(cè)量并生成分析報(bào)告，效率較半自動(dòng)臺(tái)階儀提升 5 倍以上。
三、用材與參數(shù)：核心部件保障測(cè)量精度
JS2000B 的核心部件選用材質(zhì)與進(jìn)口元器件，測(cè)針桿采用鈦合金材質(zhì)，具備高強(qiáng)度與低彈性模量特性，測(cè)量過(guò)程中不易彎曲，確保測(cè)針位移的準(zhǔn)確性；測(cè)針座采用陶瓷材質(zhì)，表面經(jīng)過(guò)精密研磨，避免測(cè)針安裝偏差影響測(cè)量結(jié)果。
樣品臺(tái)導(dǎo)軌采用德國(guó)進(jìn)口滾珠絲杠，絲杠材質(zhì)為高強(qiáng)度合金鋼（SUS440C），表面經(jīng)過(guò)氮化處理（硬度達(dá) HRC60），耐磨性強(qiáng)，使用壽命可達(dá) 10 萬(wàn)小時(shí)以上。驅(qū)動(dòng)電機(jī)選用日本進(jìn)口伺服電機(jī)，運(yùn)行噪音低（≤50dB），且具備過(guò)載保護(hù)功能，當(dāng)樣品臺(tái)遇到障礙物時(shí)會(huì)自動(dòng)停止，保護(hù)設(shè)備與樣品安全。
設(shè)備的電感傳感器采用瑞士進(jìn)口元件，確保測(cè)量信號(hào)的準(zhǔn)確性；數(shù)據(jù)采集卡的采樣頻率達(dá) 1MHz，能快速捕捉測(cè)針的微小位移變化，避免因采樣不及時(shí)導(dǎo)致的數(shù)據(jù)丟失。
以下為 JS2000B 的核心參數(shù)表：
四、用途與使用說(shuō)明：覆蓋中檢測(cè)場(chǎng)景
JS2000B 的用途廣泛且專(zhuān)業(yè)，在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于芯片鍵合線高度與間距測(cè)量、晶圓表面臺(tái)階檢測(cè)、封裝膠體厚度分析，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的電氣性能與機(jī)械可靠性；在光學(xué)行業(yè)，能檢測(cè)光學(xué)鏡片的面型臺(tái)階、薄膜涂層的厚度均勻性、棱鏡的角度偏差，保障光學(xué)元件的成像質(zhì)量；在精密模具行業(yè)，可測(cè)量模具型腔的微小臺(tái)階、分型面的平整度、沖壓件的尺寸誤差，優(yōu)化模具加工工藝；在科研領(lǐng)域，適合用于納米材料的薄膜厚度測(cè)量、新型涂層的表面形貌分析，為科研實(shí)驗(yàn)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支持。
使用 JS2000B 時(shí)，操作流程如下：首先接通電源，打開(kāi)設(shè)備開(kāi)關(guān)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)進(jìn)行自檢（包括傳感器、電機(jī)、真空系統(tǒng)），自檢通過(guò)后進(jìn)入主界面；在主界面中點(diǎn)擊 “測(cè)量任務(wù)設(shè)置"，新建測(cè)量任務(wù)，輸入樣品信息（尺寸、材質(zhì)），通過(guò)觸控屏繪制測(cè)量路徑（如多點(diǎn)測(cè)量、線性掃描、區(qū)域掃描），設(shè)置測(cè)量參數(shù)（測(cè)針接觸力、測(cè)量速度、數(shù)據(jù)采樣頻率）；將樣品放置在樣品臺(tái)上，啟動(dòng)真空吸附系統(tǒng)固定樣品，點(diǎn)擊 “自動(dòng)找平" 按鈕，設(shè)備會(huì)自動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)水平度；確認(rèn)參數(shù)無(wú)誤后，點(diǎn)擊 “開(kāi)始測(cè)量"，設(shè)備按照預(yù)設(shè)路徑自動(dòng)完成測(cè)量，測(cè)量過(guò)程中可實(shí)時(shí)查看測(cè)量曲線與數(shù)據(jù)；測(cè)量完成后，軟件自動(dòng)生成分析報(bào)告，包含測(cè)量數(shù)據(jù)表格、3D 形貌圖、統(tǒng)計(jì)分析圖表（平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、最大值、最小值），可直接導(dǎo)出報(bào)告或上傳至 MES 系統(tǒng)；測(cè)量結(jié)束后，關(guān)閉真空吸附，取出樣品，清潔樣品臺(tái)與測(cè)針，關(guān)閉設(shè)備電源。
使用過(guò)程中需注意，每周需對(duì)測(cè)針進(jìn)行磨損檢查，若測(cè)針磨損超過(guò) 0.5μm 需及時(shí)更換；每月需對(duì)樣品臺(tái)導(dǎo)軌進(jìn)行潤(rùn)滑保養(yǎng)，添加專(zhuān)用潤(rùn)滑油；每季度需使用標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)塊（精度 ±0.005μm）對(duì)設(shè)備進(jìn)行精度校準(zhǔn)，確保測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確；測(cè)量易變形樣品（如薄塑料片）時(shí)，需降低測(cè)針接觸力（最小可至 1mg），避免樣品變形。
五、型號(hào)特點(diǎn)：中檢測(cè)的理想選擇
作為澤攸推出的中全自動(dòng)臺(tái)階儀，JS2000B 的核心優(yōu)勢(shì)在于高精度、高效率與高穩(wěn)定性。其全自動(dòng)操作設(shè)計(jì)減少了人工干預(yù)，降低了操作誤差，適合批量樣品的標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)；進(jìn)口核心部件與精密制造工藝，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，減少維護(hù)成本；豐富的數(shù)據(jù)接口與軟件功能，能融入現(xiàn)代化工廠的質(zhì)量管控體系，為生產(chǎn)工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。
無(wú)論是半導(dǎo)體封裝廠的批量檢測(cè)、光學(xué)元件制造商的質(zhì)量控制，還是科研機(jī)構(gòu)的精細(xì)測(cè)量實(shí)驗(yàn)，JS2000B 都能以精準(zhǔn)的測(cè)量能力、高效的操作流程與可靠的運(yùn)行表現(xiàn)，成為中檢測(cè)場(chǎng)景的理想選擇，助力用戶提升產(chǎn)品質(zhì)量與科研水平。
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