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澤攸:多材質樣品檢測臺階儀

產品簡介

澤攸:多材質樣品檢測臺階儀
在半導體元件研發、航空航天配件制造、新型材料實驗等場景中,樣品材質多樣(如金屬、陶瓷、薄膜、生物材料),對測量模式的適配性要求更高,單一測量原理的臺階儀難以滿足全場景需求。澤攸全自動臺階儀 JS3000B 憑借接觸式與光學式雙測量模式、適配多材質的設計,成為這類復雜場景的實用工具,幫助用戶完成不同材質樣品的臺階高度、厚度等檢測任務,減少設備更換頻率。

產品型號:JS3000B
更新時間:2025-09-03
廠商性質:代理商
訪問量:50
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澤攸:多材質樣品檢測臺階儀

在半導體元件研發、航空航天配件制造、新型材料實驗等場景中,樣品材質多樣(如金屬、陶瓷、薄膜、生物材料),對測量模式的適配性要求更高,單一測量原理的臺階儀難以滿足全場景需求。澤攸全自動臺階儀 JS3000B 憑借接觸式與光學式雙測量模式、適配多材質的設計,成為這類復雜場景的實用工具,幫助用戶完成不同材質樣品的臺階高度、厚度等檢測任務,減少設備更換頻率。
一、產品細節:雙模式設計適配多材質
JS3000B 采用高剛性臺式結構,整體尺寸為 550mm×450mm×500mm,重量 60kg,機身框架選用鋁合金材質,經過整體壓鑄與時效處理,結構穩定性強,能減少外界震動對測量的影響,即使在多設備同時運行的車間或實驗室,也能保持穩定狀態。
機身外殼采用雙層防護設計,內層為 ABS 工程塑料(表面具備防靜電特性,表面電阻 10?-10?Ω),外層為可拆卸不銹鋼防護罩,既能抵御油污、粉塵侵蝕,又方便日常維護。防護罩側面設有高透光學觀察窗,可實時觀察測量過程,不用頻繁開啟防護罩干擾環境。
操作界面升級為 12.1 英寸工業級觸控屏,分辨率 1920×1080,支持手套觸控與多點手勢操作(如雙指縮放圖像、滑動切換功能),界面響應迅速,在低溫(10℃)或高溫(40℃)環境下,觸控靈敏度無明顯變化。屏幕內置環境光傳感器,能根據周圍光線自動調整亮度,減少視覺疲勞。
樣品臺采用 “三軸全自動" 設計,X 軸最大行程 200mm、Y 軸最大行程 150mm、Z 軸最大行程 5000μm,搭配滾珠絲杠與納米級光柵尺(分辨率 0.01μm),移動精度高,定位準確,能精準找到不同材質樣品的測量區域。樣品固定系統支持三種方式:真空吸附(適配直徑 5mm-200mm 的硬質樣品,如金屬、陶瓷)、靜電吸附(適配超薄或易變形樣品,如薄膜、生物材料)、機械夾具(適配不規則形狀樣品,如航空配件、異形元件),不用額外定制工裝,即可固定多種材質與形態的樣品。
設備接口豐富,包含 2 個 USB3.0 接口、1 個千兆以太網接口、1 個 HDMI 接口、1 個 RS232 接口,支持數據高速導出、工廠系統對接、多人協作查看,還能連接外部自動化設備,融入復雜檢測流程。
二、產品性能:雙模式滿足多場景需求
JS3000B 采用 “接觸式電感 + 光學干涉" 雙測量原理,可根據樣品材質靈活切換:接觸式模式適合高硬度、高粗糙度樣品(如金屬部件、陶瓷涂層),光學干涉模式適合低硬度、易損傷樣品(如生物薄膜、光刻膠),兩種模式切換時間短,不用手動更換部件,操作便捷。
測針系統選用紅寶石測針(直徑 1μm,半徑 50nm),測針桿采用單晶藍寶石材質,硬度高、耐磨性強,正常使用下壽命可達 10000 次以上,減少更換頻率。光學干涉模塊搭配高穩定性光源,波長波動小,能精準捕捉樣品表面的干涉信號,適合薄樣品或易損傷樣品的測量。
設備測量范圍為 0-5000μm,測量分辨率 0.0001μm,能應對多種檢測需求:測金屬部件的臺階高度(要求誤差在 0.005μm 以內)、陶瓷涂層的厚度、生物薄膜的尺寸(要求誤差在 0.001μm 以內)等。同一位置連續測量 30 次,重復性以內,能保證不同材質樣品檢測結果的一致性,避免因設備波動導致數據偏差。
設備內置 “三重溫度補償" 系統:環境溫度補償(10℃-40℃范圍內修正溫度影響)、設備自身溫度補償(修正電機、傳感器發熱帶來的誤差)、樣品溫度補償(通過外接傳感器監測樣品溫度,修正誤差),長期連續運行(24 小時),適合長時間實驗或批量檢測。
測量效率方面,接觸式模式單次測量約 0.5 秒,光學式模式約 1 秒,支持 “多路徑并行測量",可同時預設 10 條測量路徑,設備按優先級自動完成,減少等待時間。針對多材質批量樣品,設備還支持 “模式自動切換",預設樣品材質后,軟件會自動選擇合適的測量模式,不用手動調整,提升效率。
三、用材與參數:耐用部件保障穩定運行
JS3000B 核心部件選用可靠材質與元器件,確保長期穩定使用。測針桿用單晶藍寶石,彈性模量高,測量時不易彎曲,保證位移準確;測針座用陶瓷材質,表面經過精密研磨,同軸度誤差小,避免安裝偏差影響精度。
樣品臺導軌用陶瓷材質,熱膨脹系數低,在溫度變化時不易變形,表面經過拋光處理,摩擦系數小,長期使用后無明顯磨損,使用壽命可達 30 萬小時以上。驅動電機選用伺服電機,運行噪音低(在 45dB 以內),具備過載保護功能,遇到障礙物時快速停止,保護設備與樣品。
電感傳感器與光學干涉模塊均采用進口元件,線性度誤差低,信號捕捉精準;數據采集卡采樣頻率達 10MHz,能快速記錄測量信號,避免數據丟失;存儲模塊標配 1TB 工業級固態硬盤,可存儲大量測量數據,支持數據加密與權限管理,滿足數據安全需求。
以下為 JS3000B 的核心參數表:
參數類別
具體參數
型號
JS3000B(全自動臺階儀)
測量原理
接觸式電感測量 + 光學干涉測量
測量范圍(Z 軸)
0-5000μm
測量分辨率
0.0001μm
長期穩定性
0.005μm(24 小時連續運行)
樣品臺行程
X 軸 200mm,Y 軸 150mm,Z 軸 5000μm(電動)
樣品臺定位精度
±0.005μm
樣品固定方式
真空吸附 / 靜電吸附 / 機械夾具
測量速度
接觸式:約 0.5 秒 / 次;光學式:約 1 秒 / 次
數據輸出格式
TXT、Excel、PDF、CAD、MATLAB
電源要求
AC 220V±5%,50/60Hz,300W
工作環境
溫度 10℃-40℃,濕度 20%-80%(無冷凝)
設備重量
60kg
外形尺寸
550mm×450mm×500mm
四、用途與使用說明:覆蓋多材質檢測
JS3000B 用途廣泛,能適配多材質檢測場景:在半導體廠,可測芯片金屬布線高度(接觸式)、光刻膠厚度(光學式),不用換設備就能完成不同工序檢測;在航空航天廠,能測鈦合金部件臺階(接觸式)、復合材料涂層(光學式),確保配件尺寸符合要求;在新材料實驗室,適合測納米薄膜厚度(光學式)、金屬基復合材料臺階(接觸式),為實驗分析提供數據支持;在生物實驗室,可測生物醫用薄膜尺寸(光學式),避免損傷樣品。
使用 JS3000B 的步驟如下:
  1. 設備啟動與環境檢查:接通電源與穩壓電源,打開設備開關,設備自動自檢(傳感器、電機、真空系統)與環境監測(溫度、濕度、振動),自檢通過后進入主界面;若環境參數異常(如振動過大),會提示預警,需排除干擾后繼續。

  1. 樣品準備與固定:根據樣品材質選擇固定方式(如金屬樣品用真空吸附、生物樣品用靜電吸附),將樣品放在樣品臺中心,啟動固定系統,軟件確認樣品固定牢固后,進入下一步。

  1. 測量模式與參數設置:在主界面選擇測量模式(接觸式 / 光學式 / 自動切換),輸入樣品信息(材質、尺寸),通過觸控屏繪制測量路徑(支持導入 CAD 圖紙生成路徑),設置參數(如測針接觸力、光學波長、采樣頻率)。

  1. 自動測量與數據采集:點擊 “開始測量",設備按預設路徑自動完成測量,實時顯示測量曲線(高度 - 位置曲線、干涉條紋圖),過程中可暫停調整或標記重點區域。

  1. 數據分析與設備關閉:測量完成后,軟件自動處理數據(計算高度、厚度、統計偏差),生成包含數據、圖表的報告,支持導出至分析軟件;數據可存儲或上傳至指定系統,測量結束后關閉固定系統,取出樣品,清潔樣品臺與測針,關閉電源。

使用時需注意:每周用標準校準塊(精度 ±0.0005μm)校準雙測量模式;每月清潔光學模塊鏡頭,用專用無塵紙與清潔劑;每季度維護導軌(添加潤滑油)與傳感器(精度檢測);測量易損傷樣品時,調低保針接觸力(1-3mg)或用光學模式,避免樣品變形。
五、型號特點:多材質檢測的適配選擇
作為澤攸針對多材質場景推出的全自動臺階儀,JS3000B 的優勢在 “雙模式適配"“多材質兼容" 與 “穩定耐用"。雙測量模式解決了不同硬度、形態樣品的檢測難題,不用購置多臺設備;多方式樣品固定與豐富接口,能融入復雜檢測流程;高剛性結構與耐用部件,減少故障,降低維護成本。
無論是半導體研發的多工序檢測,還是航空航天的多材質配件測量,亦或是實驗室的新材料分析,JS3000B 都能靠靈活的測量模式、穩定的表現,成為多材質檢測場景的合適選擇,幫助用戶提升檢測效率,獲取可靠數據。

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