澤攸電鏡ZEM20Pro：應對前沿研究成像能力 在納米材料研究、制造檢測和生命科學等領域，對樣品進行高分辨率的掃描電子顯微鏡觀察需求日益增長。澤攸科技的ZEM20Pro臺式掃描電子顯微鏡，將高分辨成像能力融入緊湊的桌面設計中，為用戶提供了一個無需依賴大型傳統電鏡的微觀成像解決方案。

ZEM20Pro的核心優勢在于其電子光學系統的設計。采用熱場發射電子槍，這種電子源具有亮度較高和能量分散較低的特點，為獲得高信噪比和高分辨率的圖像奠定了基礎。鏡筒內電磁透鏡系統經過優化設計，有助于減小像差，實現電子束的精細聚焦。整套光路系統置于高真空環境中，由金屬材料制成的鏡體結構穩定，減少了外界干擾。

隨著材料體系的日益復雜和器件尺寸的不斷縮小，科研與工業界對顯微成像技術提出了更高要求。澤攸ZEM20Pro臺式掃描電鏡憑借其熱場發射電子槍和優化的光學系統，提供了優于普通臺式電鏡的成像性能，能夠應對更多研究和精密檢測場景。

ZEM20Pro的性能表現源于多項技術的綜合。熱場發射電子槍提供了較小尺寸和高亮度的電子源，這是實現高分辨率成像的關鍵。電磁透鏡系統具有較低的像散，有助于在整個視野范圍內獲得清晰、無畸變的圖像。樣品室內部設計考慮了信號收集效率，背散射電子探測器可用于獲取成分襯度信息，對分析多相材料有所幫助。整機的機械穩定性和真空系統設計為長時間工作的穩定性提供了支持。

其性能參數為其在應用提供了可能：

• •低電壓成像：支持低至200V的加速電壓，有助于觀察對電子束敏感的樣品（如某些半導體、聚合物），減少充電效應。

• •高真空模式：保障了高分辨率成像所需的環境。

• •大范圍導航：馬達驅動的樣品臺允許在較大范圍內移動和定位，方便尋找特定觀察區域。

• •擴展性：預留能譜（EDS）等分析探頭接口，支持成分分析功能擴展。

ZEM20Pro的應用場景深入且專業：

• •鋰電池研究：觀察電極材料（如正負極粉末）的微觀結構、循環后的形貌變化以及鋰枝晶的生長。

• •集成電路分析：進行芯片剖面的電路結構觀察、缺陷定位和失效分析。

• •前沿材料表征：用于鈣鈦礦太陽能電池、MOF材料、碳納米復合材料等的微觀結構解析。

• •精密制造質檢：對MEMS器件、精密光學元件、超硬涂層等進行微納尺度形貌檢測。

在使用說明中，其高級功能值得關注。用戶可根據樣品特性，靈活選擇加速電壓和探針電流，在分辨率、襯度和樣品損傷之間取得平衡。對于不導電樣品，除了常規噴金處理，利用低電壓模式進行觀察也是一種可行選擇。軟件中的圖像處理和分析工具能滿足基本的科研級圖像輸出要求。

對于高校、科研院所的實驗室以及制造業的質檢部門，ZEM20Pro提供了一種無需投入大型設備即可獲得高分辨成像能力的解決方案。