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了解ZYGO 3D光學輪廓儀ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光學輪廓儀，主要用于對表面形貌進行非接觸式的測量和分析。它基于相干掃描干涉技術，能夠提供表面的三維形貌數據。這款儀器適用于實驗室和工業環境，為研發和質量控制提供了一種表面測量的方式。
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ZeGage Pro是ZYGO公司推出的一款3D光學輪廓儀，主要用于對表面形貌進行非接觸式的測量和分析。它基于相干掃描干涉技術，能夠提供表面的三維形貌數據。這款儀器適用于實驗室和工業環境，為研發和質量控制提供了一種表面測量的方式。
在產品設計上，ZeGage Pro采用了一體化的結構，將光學系統、電子控制系統和內置計算機集成在一個緊湊的機身內。這種設計減少了外部環境振動和氣流對測量結果的干擾，同時使得儀器便于移動和安裝。儀器的外殼主要采用金屬材料，保證了結構的穩固性，內部光學元件則安裝在經過設計的隔振平臺上，以維持光學路徑的穩定性。
ZeGage Pro的用途廣泛，可用于測量各種材料和表面的粗糙度、臺階高度、形狀輪廓、體積等參數。它適用于半導體、光學薄膜、材料科學、精密制造等多個領域。例如，在光學元件生產中，可用于檢測透鏡的表面質量；在半導體行業，可用于測量晶圓的翹曲度和薄膜厚度。
儀器的操作通過隨機附帶的MetroPro軟件完成。該軟件提供了從儀器控制、數據采集到結果分析的全套功能。用戶可以通過軟件選擇測量模式、設置掃描參數、實時預覽樣品，并對采集到的三維數據進行多種分析，生成符合國際標準的測量報告。
參數表示例：
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 型號 | ZeGage Pro (根據配置有多種型號) |
| 測量技術 | 相干掃描干涉術 |
| 垂直測量范圍 | 可達數毫米（取決于物鏡） |
| 垂直分辨率 | 可達亞納米級 |
| 視野 | 取決于物鏡倍數（如0.5x至50x） |
| 平臺尺寸 | 提供多種規格的樣品臺選項 |
| 數據接口 | 千兆以太網 |
| 軟件 | MetroPro |
使用ZeGage Pro時，需要將儀器放置在穩固的工作臺上，并連接電源和網絡。開機后，通過計算機上的軟件進行操作。放置樣品時，需確保樣品表面清潔，并平穩放置在樣品臺上。根據樣品的反射率和表面特性，在軟件中選擇合適的測量模式和參數，即可開始自動測量。測量完成后，數據會自動傳輸至軟件進行分析。
