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ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩定運行和測量數據可靠性的重要環節。
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ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性
物鏡組：鏡片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多層鍍膜（每層厚 100-200nm），透光率達 98% 以上，減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼（SUS304），同軸度誤≤0.01mm，確保光路精準，適配 5X-50X 不同倍率需求。
干涉儀模塊：核心棱鏡為石英材質（耐溫 - 50℃-200℃，折射率穩定），分光膜采用 dielectric 涂層，分光比誤≤2%，保證干涉信號穩定，支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。
光源組件：LED 燈珠為高亮度貼片式（單顆功率 1W，壽命 50000 小時），散熱外殼為鋁合金，帶鰭片結構（間距 2mm），連續工作 4 小時溫度升幅≤15℃，避免亮度衰減。
光學部件：物鏡每次使用后用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭，禁止用普通紙巾；干涉儀棱鏡每季度用壓縮氣吹清灰，避免擦拭損傷鍍膜。
樣品臺：導軌每月涂專用潤滑脂（鋰基型），手動調節旋鈕定期檢查松緊，過松需緊固螺絲。
機身：外殼避免接觸有機溶劑（如酒精），防止涂層脫落；腳墊磨損后及時更換（原廠型號 ZGP-F01），保證設備水平。
ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性