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ZYGO 3D光學輪廓儀精密機械領域應用通過在精密機械領域的應用，ZeGage Pro 以非接觸測量優勢，精準把控零件表面質量、尺寸精度與缺陷狀態，為機械制造的精度提升提供可靠數據支撐。
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ZYGO 3D光學輪廓儀精密機械領域應用
硬件選擇：根據零件尺寸選物鏡，小尺寸零件（如微型齒輪）用 20X 物鏡（水平分辨率 0.8μm），大尺寸零件（如軸承外圈）用 5X 物鏡（覆蓋更大測量區域）；
參數設置：掃描范圍 2-10mm×2-10mm（匹配零件待測區域），數據點密度 500-800 點 /mm2（平衡測量精度與速度），無需開啟特殊功能（金屬零件反光較弱，常規成像即可）；
測量流程：將零件固定在樣品臺（用磁性夾具固定金屬零件，避免移位），手動移動樣品臺使待測區域對準物鏡，自動對焦后啟動掃描（約 20-40 秒 / 次），軟件生成 3D 表面形貌圖。
軟件自動計算 Ra、Rz 值，若 Ra=1.0μm 超標準（≤0.8μm），反饋至零件加工工藝（如調整銑削轉速、更換砂輪粒度）；
生成粗糙度分布曲線，直觀顯示零件表面高低起伏狀態，判斷是否存在局部粗糙度過高區域（如齒輪齒根位置），指導工藝優化。
硬件選擇：選用 10X 物鏡（水平分辨率 1.6μm，垂直分辨率 0.1nm，兼顧范圍與精度），若批量檢測可選自動樣品臺（預設多個臺階測量點位）；
參數設置：掃描范圍 1-3mm×1-3mm（覆蓋臺階及兩側區域），數據點密度 1000 點 /mm2（精準捕捉臺階邊緣），開啟 “臺階分析" 專用功能；
測量流程：掃描完成后，在軟件中用鼠標框選臺階兩側平面區域，軟件自動識別臺階邊緣，計算高度值（如臺階設計高度 0.5mm，實測 0.503mm）。
對比實測值與設計值，偏差超 0.005mm 時（如 0.506mm），調整加工設備（如銑床進給量）；
統計同一零件不同位置臺階高度的一致性（如模具四周臺階高度偏差≤0.003mm），確保零件整體裝配精度。
硬件選擇：選用 50X 物鏡（水平分辨率 0.64μm，可識別 0.1μm 以上缺陷），搭配高亮度 LED 光源（增強缺陷與零件表面的對比度）；
參數設置：掃描范圍 0.5-1mm×0.5-1mm（聚焦疑似缺陷區域），數據點密度 1200 點 /mm2（清晰呈現缺陷細節），開啟 “缺陷識別" 功能（設置缺陷閾值：劃痕寬度≥0.1μm、深度≥0.05μm）；
測量流程：人工觀察零件表面，標記疑似缺陷位置，移動樣品臺至對應區域掃描，軟件自動標紅符合閾值的缺陷，統計數量與尺寸（如劃痕長度 0.8μm、寬度 0.12μm）。
若缺陷數量超 3 處 / 零件或單個缺陷尺寸超 1μm，判定零件不合格，需返修（如拋光去除劃痕）；
分析缺陷產生原因（如加工過程中刀具磨損導致劃痕），及時更換加工工具，減少不合格品率。
金屬零件測量前需清潔表面油污、鐵屑（用無水乙醇擦拭，晾干后測量），避免雜質干擾數據；
易變形零件（如薄型金屬片）需用柔性夾具固定，避免夾持力過大導致零件變形；
測量大重量零件（≤5kg）時，緩慢放置在樣品臺中心，避免壓損樣品臺導軌。
ZYGO 3D光學輪廓儀精密機械領域應用