白光干涉儀原理精妙，應用多元

　　白光干涉儀作為光學檢測領域的精密儀器，憑借其特殊的原理和廣泛的應用，在眾多領域發揮著關鍵作用。

　　白光干涉儀基于光的干涉原理運作。其核心在于利用白光這一多色光，當光源發出的光經過擴束準直后，經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉。由于白光具有連續光譜，在一定光程差范圍內會出現彩色干涉條紋，且只有在零光程差附近的極小范圍內才會出現清晰、對比度高的干涉條紋。通過精確尋找零光程差位置，可實現高精度測量，測量精度以光波波長為單位，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長（約10??米），這一特性使其測量精度遠超其他測量方法。

　　白光干涉儀的應用極為廣泛。在半導體制造領域，它能精確測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數，對芯片制造工藝進行監控和質量檢測，例如檢測光刻膠的厚度和表面平整度、刻蝕深度和表面粗糙度等，確保芯片性能和可靠性。

　　在光學加工中，用于光學鏡片、透鏡、棱鏡等光學元件的表面形貌測量和質量檢測，可測量表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數，幫助優化光學加工工藝，提高光學元件質量。

　　汽車零部件制造也離不開該儀器，它能測量汽車發動機缸體、活塞、氣門等零部件的表面粗糙度、平面度、圓柱度等參數，為汽車零部件制造提供高精度檢測手段。

　　此外，在材料科學研究、微機電系統（MEMS）研究、航空航天領域等，它同樣大顯身手。在材料研究中，助力研究材料表面形貌、結構和性能關系；在MEMS研究中，為器件設計、制造和性能評估提供技術支持；在航空航天領域，用于飛機發動機葉片表面形貌測量、飛機機身表面平整度檢測、衛星零部件尺寸精度測量等。

　　白光干涉儀以其精妙的原理和多樣化的應用，成為眾多領域至關重要的檢測工具，推動著各行業的進步與發展。