Sensofar經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀

一、產品概述——緊湊、靈活、強大

Sensofar經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀是款為工業和研究所設計的全新非接觸式3D表面光學輪廓儀，用于工業和科研應用，其設計定位是個緊湊和靈活的系統。它設計簡潔、用途多樣。光學輪廓儀Slynx能夠測量不同的材質，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體，確保了其性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗。

SENSOFAR公司作為干涉共焦顯微鏡，開創性地將共聚焦和干涉技術結合在起，無需插拔任何硬件就可以在軟件內自動實現共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切換。使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。

SENSOFAR在1999年創立之初，就是以三維表面形貌測量為主要研發方向，通過持續不斷地研發和申請利技術，在范圍內創造了數百種表面形貌測量應用產品，積累了豐富的技術實力。

二、Sensofar經濟型三維共聚焦白光干涉輪廓儀主要應用

半導體晶圓應用、汽車零部件、消費電子、能源、材料表面、微電子、LED、微體古生物學、光學鏡片加工、模具加工、鐘表制造、腐蝕表面結構、摩擦學表面結構。

三、主要特點及功能

1） 共聚焦

共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.10um。利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。利的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

2） 干涉

白光垂直掃描干涉（VSI）是種廣泛用于測量表面特性（如形貌或透明薄膜結構）的功能強大的技術。它適合測量從光滑到適度粗糙的表面，無論物鏡的NA或者放大倍數變化，均可以提供納米的垂直分辨率。

3） 多焦面疊加

多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

4） 真彩色共聚焦圖像

每個像素點都能還原真實的色彩，在掃描時紅、綠、藍三色LED交替照明，并將三張單色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，用這種技術獲得的圖片色彩保真度和還原性更勝。

四、主要優勢：

1） 實時圖像    

SENSOSCAN為您呈現共聚焦實時圖像。我們的圖像質量和速度進一步提升，在共聚焦照明模式下可達9幀/秒，在明場照明模式下高達30幀/秒。與此同時，還有多種實時圖像模式選擇。

2） 豐富的參數設定

通過調整參數可優化測量步驟。例如，優化自動對焦設定能夠減少測量時間，采用多級的照明和優化掃描范圍可觀察復雜的3D形貌。優化后的測量參數可存儲為單點（SMR）或多點（MMR）程序測量。

3） 一鍵3D測量  

用戶只需找到測量位置 ， 點擊3D測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動調整照明亮度，自動對焦，執行較佳的測量模式，將精準的測量結果于彈指間為您呈現。

4） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項。內置測量軟件有測量尺寸，角度，距離，直徑，標注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務的理想軟件。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復雜的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 進階分析

更豐富的進階分析功能可進行數據補償，形狀去除（平面，球形，不規則形狀），濾波分析，剪裁和提取輪廓等。用戶可生成分析模版保證分析的連續性和一致性。