西班牙Sensofar三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀

Sensofar S neox：開啟三維共焦白光干涉測量新時代

在科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)的廣袤領(lǐng)域中，高精度的表面測量技術(shù)始終是推動創(chuàng)新與進步的關(guān)鍵力量。西班牙 Sensofar 公司匠心打造的 S neox 三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀，宛如一顆璀璨的明星，憑借其性能、創(chuàng)新的技術(shù)和廣泛的適用性，在眾多測量設(shè)備中脫穎而出，為各行業(yè)帶來了測量體驗與解決方案。

一、突破速度極限，大幅提升效率

S neox 在設(shè)計之初便將速度提升作為核心目標(biāo)，通過采用全新智能且獨算法，搭配新型相機，成功實現(xiàn)了數(shù)據(jù)采集速度高達 180fps 的驚人突破。相較于以往的測量系統(tǒng)，其標(biāo)準(zhǔn)測量采集速度快了 5 倍之多，一躍成為市場上速度最快的表面測量系統(tǒng)。在科研項目中，時間就是進展的保障，S neox 能夠在短時間內(nèi)獲取大量精確數(shù)據(jù)，極大地提高了實驗效率，助力科研人員更快地推進項目進程。在工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量檢測環(huán)節(jié)，快速的測量速度意味著能夠在更短時間內(nèi)完成更多產(chǎn)品的檢測，有效提升生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

二、四合一測量技術(shù)，鑄就強大多功能性

Sensofar 的四合一測量技術(shù)堪稱 S neox 的一大核心亮點。在其傳感器頭中，巧妙集成了干涉、共聚焦、Ai 多焦面疊加和膜厚測量等多種先進測量技術(shù)。只需輕松點擊一次，系統(tǒng)便能依據(jù)當(dāng)前測量任務(wù)的具體需求，自動智能地切換到最為適配的最佳技術(shù)。這種強大的多功能性使得 S neox 能夠輕松應(yīng)對幾乎所有類型的表面形貌測量，無論是不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)，還是表面粗糙度和波度的測量，它都能精準(zhǔn)勝任。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，對于芯片表面微納結(jié)構(gòu)的測量，共聚焦技術(shù)可發(fā)揮其高橫向分辨率的優(yōu)勢，實現(xiàn)臨界尺寸的精確測量；而對于光學(xué)鏡片表面的平整度檢測，干涉技術(shù)又能憑借其納米級的縱向分辨率，提供高精度的測量結(jié)果。

三、高精度測量，保障數(shù)據(jù)可靠性

對于科研和工業(yè)應(yīng)用而言，測量精度無疑是至關(guān)重要的。S neox 在精度方面表現(xiàn)，共聚焦技術(shù)的橫向分辨率可達 0.10um，能夠清晰分辨樣品表面的細微結(jié)構(gòu)，為關(guān)鍵尺寸的測量提供了可靠保障。其共聚焦算法確保了 Z 軸測量重復(fù)性處于納米范疇，在進行高精度表面高度測量時，能夠提供穩(wěn)定且準(zhǔn)確的結(jié)果。白光干涉技術(shù)作為一種納米級測量精度的表面高度形貌測量技術(shù)，在任何放大倍數(shù)下都能保證納米級的縱向分辨率，能夠精準(zhǔn)還原各種表面的真實形貌。在材料研究中，對于材料微觀表面的粗糙度和微觀結(jié)構(gòu)的測量，S neox 的高精度測量性能能夠為研究人員提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持，助力深入了解材料性能與微觀結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。

四、創(chuàng)新設(shè)計，測量新體驗

S neox 的測量頭采用了無運動部件的創(chuàng)新設(shè)計，這一設(shè)計極大地提升了系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和測量重復(fù)性。無需擔(dān)心因運動部件的磨損而影響測量精度，為用戶提供了更加可靠的測量保障。同時，該儀器配備了四個具有長使用壽命的 LED 光源，不僅避免了激光光源可能產(chǎn)生的散斑現(xiàn)象，而且其使用壽命長達約 50000 小時，是激光光源的約 25 倍。多個 LED 光源還能根據(jù)樣品的不同需求，靈活選擇最合適的波長進行測量，進一步提升了測量的準(zhǔn)確性和適應(yīng)性。在搭配 SensoSCAN 軟件系統(tǒng)后，用戶能夠享受到難以置信的直觀操作體驗，從設(shè)備的基本操作到高級功能的應(yīng)用，都能輕松上手，大大降低了操作門檻，提高了工作效率。

Sensofar S neox 三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀以其在速度、多功能性、精度和設(shè)計等方面的表現(xiàn)，為半導(dǎo)體、光學(xué)加工、材料研究、生物醫(yī)學(xué)等眾多領(lǐng)域提供了強大而可靠的測量解決方案。它不僅能夠滿足當(dāng)前各行業(yè)對于高精度表面測量的嚴苛需求，更為未來的科研探索與工業(yè)創(chuàng)新提供了堅實的技術(shù)支撐。相信在 S neox 的助力下，各行業(yè)將在微觀世界的探索中邁出更加堅實的步伐，取得更多突破性的成果。

4、輕松定位樣品

XY 平臺的行程范圍達125 mm x 75 mm，可輕松放置及定位樣品，并使用與光軸完*對齊的尖*傾斜平臺輕松調(diào)平樣品。

5、多種物鏡選擇

在操作過程中，可使用6位電動鼻輪隨時切換物鏡，體驗無限可能。從多種兼容鏡頭中進行選擇，包括具有長焦鏡頭和水鏡等特定選項。

西班牙Sensofar三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀