Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀技術(shù)解析

產(chǎn)品概述

Sensofar S lynx 是一款多功能光學(xué)輪廓測量系統(tǒng)，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統(tǒng)采用模塊化光學(xué)設(shè)計(jì)，可滿足半導(dǎo)體、精密光學(xué)和材料科學(xué)等領(lǐng)域的表面測量要求。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀技術(shù)解析

核心技術(shù)特點(diǎn)

測量技術(shù)集成

• 結(jié)合共聚焦、干涉和白光垂直掃描三種測量技術(shù)

• 自動切換測量模式，適應(yīng)不同表面特性

• 垂直分辨率可達(dá)亞納米級

• 水平分辨率最高可達(dá)0.5μm

光學(xué)系統(tǒng)配置

• 采用高數(shù)值孔徑物鏡，提升測量精度

• 自動對焦與樣品導(dǎo)航功能

• 多視野拼接功能，擴(kuò)大測量范圍

• 可選配不同放大倍率物鏡

智能分析功能

• 自動表面參數(shù)計(jì)算（粗糙度、臺階高等）

• 三維形貌可視化分析

• 多區(qū)域?qū)Ρ葴y量功能

• 自定義分析模板設(shè)置

典型應(yīng)用領(lǐng)域

1. 半導(dǎo)體晶圓與器件表面檢測

2. 精密光學(xué)元件面形測量

3. MEMS器件三維形貌表征

4. 功能性涂層表面分析

5. 材料科學(xué)研究與質(zhì)量檢測

操作注意事項(xiàng)

• 建議在穩(wěn)定環(huán)境條件下使用

• 測量前需進(jìn)行系統(tǒng)校準(zhǔn)

• 根據(jù)樣品特性選擇合適的測量模式

• 高反射/低反射樣品可能需要參數(shù)調(diào)整

技術(shù)支持服務(wù)

Sensofar提供以下專業(yè)支持：

• 系統(tǒng)安裝與操作培訓(xùn)

• 測量方法開發(fā)指導(dǎo)

• 定期維護(hù)校準(zhǔn)服務(wù)

• 軟件功能升級支持

• 應(yīng)用技術(shù)支持咨詢

產(chǎn)品價(jià)值體現(xiàn)

Sensofar S lynx 通過其多技術(shù)融合的測量能力和智能化分析功能，為微納米表面形貌表征提供了靈活的解決方案。該系統(tǒng)適用于需要高精度表面分析的研發(fā)和質(zhì)量控制場景。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀技術(shù)解析