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產品簡介
Sensofar S neox 光學輪廓測量系統技術解析Sensofar S neox 是一款多功能光學輪廓測量系統，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統采用模塊化設計理念，可滿足半導體、精密光學和材料科學等領域的表面測量要求。
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Sensofar S neox 是一款多功能光學輪廓測量系統，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統采用模塊化設計理念，可滿足半導體、精密光學和材料科學等領域的表面測量要求。Sensofar S neox 光學輪廓測量系統
• 集成共聚焦顯微鏡、干涉儀和白光垂直掃描三種測量技術
• 智能模式自動識別功能
• 垂直分辨率可達亞納米級
• 水平分辨率最高0.5微米
• 高數值孔徑物鏡組
• 自動對焦與樣品導航系統
• 多視野無縫拼接功能
• 可選配不同放大倍率物鏡
• 自動表面參數計算
• 三維形貌可視化分析
• 多區域對比測量功能
• 自定義分析模板設置
半導體器件表面缺陷檢測
光學元件面形精度測量
MEMS器件三維形貌表征
功能性涂層表面分析
材料科學研究與質量檢測
• 建議在穩定環境條件下使用
• 測量前進行系統校準
• 根據樣品特性選擇測量模式
• 特殊樣品可能需要參數優化
Sensofar提供以下專業服務：
系統安裝與操作培訓
測量方法開發指導
定期維護校準支持
軟件功能升級服務
Sensofar S neox 通過其多技術融合的測量能力和智能化分析功能，為表面形貌表征提供了靈活的解決方案，適用于需要高精度表面分析的研發和質量控制場景。Sensofar S neox 光學輪廓測量系統