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三維光學(xué)輪廓儀
布魯克
ContourX-200布魯克輪廓儀實(shí)驗(yàn)室與車間的“橋梁型設(shè)備”
布魯克輪廓儀實(shí)驗(yàn)室與車間的“橋梁型設(shè)備"在追求高效生產(chǎn)的今天,表面形貌測(cè)量需兼顧研發(fā)階段的深度分析與量產(chǎn)環(huán)節(jié)的快速質(zhì)檢。布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀以“平衡性能與靈活性"為設(shè)計(jì)理念,通過(guò)模塊化硬件、智能化軟件與穩(wěn)定結(jié)構(gòu),為不同場(chǎng)景提供了一款可定制化的表面計(jì)量解決方案。
布魯克輪廓儀實(shí)驗(yàn)室與車間的“橋梁型設(shè)備"
在追求高效生產(chǎn)的今天,表面形貌測(cè)量需兼顧研發(fā)階段的深度分析與量產(chǎn)環(huán)節(jié)的快速質(zhì)檢。布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀以“平衡性能與靈活性"為設(shè)計(jì)理念,通過(guò)模塊化硬件、智能化軟件與穩(wěn)定結(jié)構(gòu),為不同場(chǎng)景提供了一款可定制化的表面計(jì)量解決方案。
ContourX-200聚焦于“大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室的日常需求",在測(cè)量范圍、系統(tǒng)性能與占地面積間實(shí)現(xiàn)平衡。其200mm×200mm的XY平面行程與200mm的Z向行程,可覆蓋半導(dǎo)體晶圓、MEMS器件與小型精密零件的測(cè)量需求,同時(shí)保持緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì),節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。設(shè)備采用高剛性鋁材與精密導(dǎo)軌,搭配主動(dòng)防震臺(tái),確保在普通車間環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)≤0.1%的測(cè)量重復(fù)性。
光學(xué)頭:支持2.5X至115X物鏡手動(dòng)或電動(dòng)切換,可選配長(zhǎng)工作距離(LWD)物鏡以適配高樣品。
載物臺(tái):150mm×150mm電動(dòng)XY平臺(tái),提供100mm垂直行程與±6°傾斜功能,支持曲面樣品測(cè)量。
光源系統(tǒng):雙色LED(白光/綠光)提供穩(wěn)定照明,適應(yīng)不同反射率表面。
成像模塊:500萬(wàn)像素黑白或彩色攝像頭,支持1200×1000分辨率成像,采樣速率37μm/s。
參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格 |
---|---|
垂直分辨率 | ≤0.01nm(RMS重復(fù)性0.01nm) |
水平分辨率 | 0.13μm(AcuityXR模式) |
最大掃描量程 | 10mm(Z向) |
視場(chǎng)范圍 | 0.1-20mm2(依物鏡調(diào)整) |
載物臺(tái)負(fù)載 | 5kg(最大) |
環(huán)境適應(yīng)性 | 溫度10-40℃,濕度≤70%RH |
數(shù)據(jù)接口 | USB 3.0、TCP/IP、SDK開發(fā)包 |
VisionXpress™:簡(jiǎn)化版界面提供自動(dòng)對(duì)焦、強(qiáng)度調(diào)節(jié)與一鍵式報(bào)告生成功能,適合生產(chǎn)線快速質(zhì)檢。
Vision64®:支持ISO 25178、ASME B46.1等標(biāo)準(zhǔn)分析,提供200余種粗糙度參數(shù)與3D紋理分析工具,并可定制分析模板。
自動(dòng)化擴(kuò)展:通過(guò)腳本編輯器與MES系統(tǒng)集成,實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量、數(shù)據(jù)追溯與異常報(bào)警。
半導(dǎo)體行業(yè):測(cè)量晶圓表面粗糙度與薄膜厚度,監(jiān)控化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝穩(wěn)定性。
汽車制造:檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)零件表面缺陷,量化磨損量以優(yōu)化維護(hù)周期。
消費(fèi)電子:分析手機(jī)玻璃蓋板的光潔度,確保觸控靈敏度與顯示效果。
能源領(lǐng)域:評(píng)估燃料電池雙極板表面粗糙度,提升氣體擴(kuò)散效率與耐久性。
某精密模具廠引入ContourX-200后,通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)測(cè)量效率提升:
定制模板:在Vision64®中預(yù)設(shè)模具型腔的粗糙度分析模板,包含Sa、Sz等關(guān)鍵參數(shù)。
批量測(cè)量:將多個(gè)模具固定于載物臺(tái),通過(guò)腳本編輯器設(shè)置自動(dòng)測(cè)量路徑。
數(shù)據(jù)追溯:測(cè)量結(jié)果自動(dòng)上傳至MES系統(tǒng),生成包含時(shí)間戳與操作員信息的報(bào)告。
異常預(yù)警:當(dāng)粗糙度超出閾值時(shí),系統(tǒng)觸發(fā)報(bào)警并暫停生產(chǎn)線,防止缺陷品流出。
ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀憑借其模塊化設(shè)計(jì)、智能化軟件與穩(wěn)定結(jié)構(gòu),成為連接實(shí)驗(yàn)室與車間的“橋梁型設(shè)備"。無(wú)論是高校的前沿研究,還是工業(yè)的量產(chǎn)需求,它都能以靈活的配置與可靠的性能,助力用戶實(shí)現(xiàn)表面計(jì)量的高效化與標(biāo)準(zhǔn)化。
布魯克輪廓儀實(shí)驗(yàn)室與車間的“橋梁型設(shè)備"
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