詳解ZYGO ZeGage Pro干涉儀參數與性能

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學輪廓儀，致力于為科研與工業領域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術（CSI），能夠對從超光滑到微粗糙的各種表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產品細節上，ZeGage Pro的設計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機于一體。其外殼采用工業級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩定性和抗環境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進行基礎操作和實時觀察。

該儀器的性能體現在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細節，并提供大范圍的掃描區域。其重復性測量結果的一致性，有助于用戶進行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應對常見的測量挑戰。

深入理解ZYGO ZeGage Pro的參數有助于用戶判斷它是否滿足特定的測量要求。這些參數共同定義了儀器的能力邊界。

垂直分辨率： 這是衡量儀器分辨垂直方向微小高度差能力的指標。ZeGage Pro的垂直分辨率可達亞納米級別，這意味著它能夠清晰地分辨出表面極其細微的起伏。

橫向分辨率： 這主要由所選物鏡的放大倍率和相機的像素大小決定。更高倍率的物鏡能提供更小的細節分辨能力，但相應的視野范圍會變小。用戶需根據待測特征的大小在分辨率和視野之間做出選擇。

掃描范圍： 包括垂直掃描范圍和橫向視野范圍。垂直掃描范圍決定了儀器所能測量的最大高度差，通常可達數毫米。橫向視野則取決于物鏡，從低倍下的大于10mm到高倍下的不足0.5mm。

測量速度： ZeGage Pro的測量速度受到多種因素影響，包括掃描范圍、掃描速度設置和數據分析的復雜程度。其快速掃描模式可以在保證數據質量的前提下，提升檢測 throughput（通量）。

重復性： 指在相同條件下對同一樣品多次測量所得結果的一致性。良好的重復性是進行可靠質量控制和生產過程監控的基礎，ZeGage Pro在重復性方面有不錯的表現。

典型參數表摘要：

這些參數并非孤立存在，而是相互關聯的。用戶需要結合自己最關注的應用指標（如是需要納米級的分辨率，還是需要測量較大的臺階高度）來綜合評估這些參數。

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