詳解ZYGO 干涉儀操作指南與軟件體驗

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術（CSI），能夠對從超光滑到微粗糙的各種表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

ZYGO ZeGage Pro的用戶體驗旨在簡化操作流程，讓用戶能夠專注于測量結果而非復雜的儀器設置。從開機測量到生成報告，流程清晰直觀。

初始設置與校準： 儀器出廠前已完成預校準。用戶在日常使用中，主要通過軟件向導進行簡單的日常校驗即可，確保了測量的可靠性。更換物鏡后，系統(tǒng)通常能自動識別并加載相應的校準參數(shù)。

測量流程：

1. 樣品放置： 將樣品平穩(wěn)放置在樣品臺上。

   
   

2. 選擇物鏡： 根據(jù)樣品特征大小和所需視野，通過軟件或手動轉盤選擇合適倍率的干涉物鏡。

   
   

3. 對焦與預覽： 使用軟件的自動對焦或手動對焦功能，使樣品圖像清晰顯示在實時預覽窗口中。

   
   

4. 設置掃描參數(shù)： 定義垂直掃描的起始點和結束點。軟件通常提供“快速估測"功能來輔助設置。

   
   

5. 開始測量： 點擊測量按鈕，儀器將自動完成掃描和數(shù)據(jù)采集過程，耗時從幾秒到幾分鐘不等。

   
   

軟件分析功能： ZeGage Pro搭載的軟件是其強大功能的延伸。它提供豐富的分析工具：

• 形貌視圖： 以2D線輪廓、3D等高線圖或3D渲染圖顯示表面形貌。

  
  

• 參數(shù)分析： 自動計算并輸出一系列國際標準化的粗糙度（Sa, Sq...）、波紋度、臺階高度、體積等參數(shù)。

  
  

• 高級處理： 提供數(shù)據(jù)濾波、去除傾斜、形式移除、缺陷分析等功能，以提取所需的特定信息。

  
  

• 數(shù)據(jù)導出： 測量結果和數(shù)據(jù)可以多種格式（圖片、視頻、文本數(shù)據(jù)）導出，便于存檔和融入第三方軟件進行進一步處理。

  
  

• 配方功能： 對于重復性檢測任務，可以創(chuàng)建和保存測量“配方"，實現(xiàn)一鍵式自動化測量，減少人為操作差異，特別適合生產(chǎn)環(huán)境。

  
  

通過友好的軟件界面和邏輯清晰的操作步驟，ZeGage Pro使得高精度的3D表面測量變得易于上手和執(zhí)行，降低了用戶的操作門檻。

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