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Sensofar 白光干涉儀測(cè)量技術(shù)原理探討?

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Sensofar 白光干涉儀測(cè)量技術(shù)原理探討?
Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測(cè)量技術(shù)之上。理解這兩種技術(shù)的基本原理和適用條件，有助于用戶在實(shí)際應(yīng)用中選擇合適的模式。

產(chǎn)品型號(hào)：lynx2
更新時(shí)間：2025-10-23
廠商性質(zhì)：代理商
訪問(wèn)量：103
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 Sensofar 白光干涉儀測(cè)量技術(shù)原理探討

Sensofar 白光干涉儀測(cè)量技術(shù)原理探討?

Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測(cè)量技術(shù)之上。理解這兩種技術(shù)的基本原理和適用條件，有助于用戶在實(shí)際應(yīng)用中選擇合適的模式。
共聚焦測(cè)量技術(shù)細(xì)節(jié)
共聚焦技術(shù)的核心在于其光路中設(shè)置的針孔。這個(gè)針孔與樣本焦點(diǎn)處于共軛位置，能有效阻擋非焦平面的散射光。當(dāng)物鏡沿Z軸進(jìn)行掃描時(shí)，系統(tǒng)記錄下每個(gè)XY坐標(biāo)點(diǎn)光強(qiáng)達(dá)到最大值時(shí)的Z位置。通過(guò)這種方式，可以逐點(diǎn)重建出樣本表面的三維高度信息。這種技術(shù)對(duì)光散射較強(qiáng)的表面，如粗糙的金屬、陶瓷或具有陡峭幾何形狀的結(jié)構(gòu)，有較好的測(cè)量效果，其垂直測(cè)量范圍也相對(duì)寬泛。
白光垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)細(xì)節(jié)
VSI技術(shù)利用白光光源相干長(zhǎng)度短的特性。當(dāng)光束分光后，一束光照射樣本表面，另一束光照射參考鏡。反射光匯合后會(huì)產(chǎn)生干涉，但只有在兩束光的光程差接近零的很小范圍內(nèi)，才會(huì)出現(xiàn)清晰的干涉條紋。通過(guò)垂直掃描，并利用算法找到每個(gè)像素點(diǎn)干涉條紋對(duì)比度最高的Z軸位置，即可確定該點(diǎn)的高度。VSI模式在測(cè)量光學(xué)光滑、平坦或緩變的表面時(shí)，能提供出色的垂直分辨率。
技術(shù)的協(xié)同與選擇
S lynx的軟件能夠自動(dòng)或根據(jù)用戶指令在不同技術(shù)間切換。例如，對(duì)于同時(shí)包含光滑區(qū)域和粗糙區(qū)域的復(fù)雜樣本，可以先使用共聚焦模式進(jìn)行快速大范圍測(cè)量和定位，再針對(duì)關(guān)鍵的光滑區(qū)域切換至VSI模式進(jìn)行高分辨率細(xì)節(jié)捕捉。這種靈活性使一臺(tái)設(shè)備能夠應(yīng)對(duì)多種測(cè)量挑戰(zhàn)。
性能關(guān)聯(lián)因素
兩種技術(shù)的實(shí)際表現(xiàn)均與所選物鏡的數(shù)值孔徑（NA）密切相關(guān)。高NA物鏡提供更高的橫向分辨率，但景深和工作距離會(huì)減小。S lynx的自動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤使得針對(duì)不同視場(chǎng)和分辨率需求進(jìn)行切換變得簡(jiǎn)便。
總結(jié)
S lynx所搭載的共聚焦和VSI技術(shù)，構(gòu)成了互補(bǔ)的測(cè)量體系。用戶通過(guò)理解其工作原理和特點(diǎn)，可以根據(jù)具體的樣本表面特性，做出適當(dāng)?shù)募夹g(shù)選擇，從而獲取有效的三維形貌數(shù)據(jù)。

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