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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?

產品簡介

Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?
Sensofar S lynx輪廓儀的測量穩定性和使用壽命,與其硬件架構設計和材料選擇相關聯。從整體結構到核心組件,其設計均考慮了工業化環境下的使用需求。

產品型號:lynx2
更新時間:2025-10-23
廠商性質:代理商
訪問量:108
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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南

建立并遵循規范的操作流程,是使用Sensofar S lynx輪廓儀獲得可靠、可重復測量結果的重要環節。流程涵蓋從開機準備到數據保存的全過程。
測量前準備

環境與樣本檢查:確保儀器放置在穩固的臺面上,遠離強振動源和氣流。檢查樣本表面是否清潔、干燥,無松動顆粒。對于微小樣本,需確保其被穩定地固定于樣品臺上。

開機與初始化:依次打開儀器主機、電腦顯示器電源,最后啟動儀器主機。啟動配套的SensoMAP測量軟件,軟件通常會執行系統自檢和初始化流程。

樣本放置:將樣本輕放于樣品臺中心區域,避免碰撞物鏡。
對焦與測量設置

選擇物鏡與觀察:在軟件界面選擇適合的物鏡倍數。使用軟件控制樣品臺移動,找到需要測量的區域。通過實時圖像功能,調整Z軸高度直至圖像清晰。

選擇測量模式:根據樣本特性選擇“共聚焦"(Confocal)或“白光干涉"(VSI)模式。對于不熟悉的樣本,可先用共聚焦模式進行快速預覽。

設置掃描參數:設定垂直掃描的起始點和結束點,確保范圍能覆蓋待測特征的高度。設置合適的掃描步長,步長越小,理論上垂直分辨率越高,但掃描時間會增加。可啟用“自動曝光"功能讓系統優化光照條件。
執行測量與數據處理

開始測量:確認參數無誤后,啟動單點或區域掃描。儀器將自動完成Z軸掃描和數據采集。

數據重建與預覽:掃描結束后,軟件會自動處理數據,生成三維形貌圖、二維等高圖、輪廓線等,用戶可即時預覽測量效果。

大區域測量:若需測量超出單視場的區域,可使用軟件提供的拼接測量功能(如Tile Scan),預設拼接行列數,儀器將自動完成多視場測量與拼接。
數據分析與報告生成

數據調平與濾波:使用軟件的數據處理工具,首先應用“調平"功能去除樣本傾斜帶來的誤差。根據需要,可選用合適的濾波器(如高斯濾波器、形態學濾波器)分離形狀、波紋度和粗糙度成分。

參數提取:在感興趣區域(ROI)內,計算表面粗糙度參數(Sa, Sq, Sz等)、臺階高度、體積、表面積、幾何尺寸等。

結果保存與導出:將包含原始數據和分析結果的項目文件保存為特定格式。可將三維圖像、二維曲線和數據表格導出為通用格式(如.png, .csv),用于編制報告
總結
通過標準化的操作步驟,用戶可以系統性地完成測量任務,有助于減少操作誤差,保證測量結果的一致性和可追溯性。


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