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產品簡介
布魯克白光干涉儀輪廓儀三維測量新維度ContourX-200是布魯克推出的臺式三維光學輪廓儀，采用白光干涉（WLI）技術實現非接觸式表面形貌測量。其核心配置包括5百萬像素攝像頭與電動XY載物臺，支持2D/3D高分辨率測量。
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布魯克白光干涉儀輪廓儀三維測量新維度
產品細節與性能：
采用白光干涉（WLI）技術，具有高Z軸分辨率（<0.01nm）和水平分辨率（0.38μm Sparrow準則，0.13μm帶AcuityXR®）。
配備5百萬像素攝像頭和電動XY載物臺，支持2D/3D高分辨率測量。
最大掃描量程≤10mm，垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm（Sparrow準則），臺階高度準確性<0.75%，重復性<0.1% 1sigma。
樣品反射率范圍0.05%到100%，最大樣品高度≤100mm，XY平臺行程150mm。
防震設計穩定，工作溫度15-30℃，適應電子車間環境。
用材與結構設計：
機身采用輕量化合金框架，防塵蓋板可拆卸，減少粉塵影響。
光學鏡頭使用高透光率玻璃，多層增透膜處理，減少反射光干擾。
樣品臺設計有彈性硅膠夾具，保護樣品表面，適應不同形狀的元器件。
型號與用途：
屬于ContourX系列，型號為ContourX-200，適用于半導體、眼科、醫療設備、MEMS、摩擦學等領域。
支持多種國際標準（如ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287）的定制化分析報告。
應用于精密電子件、微型傳感器、PCB板線路、連接器引腳等檢測，以及科研和工業生產中的表面形貌分析。
操作說明與維護：
操作面板防水防油，適應車間環境。
支持手動與半自動模式，適應不同樣品切換和批量檢測需求。
軟件系統為Vision64和VisionXpress，支持自動化功能如自動拼接、網格自動化、自動對焦等。
維護建議包括定期清潔光學鏡頭和樣品臺，性能驗證和校準，放置在潔凈、干燥、無強氣流和振動環境中。
參數表：
垂直分辨率<0.01nm，水平分辨率0.5μm，最大掃描量程≤10mm，臺階高度準確性<0.75%，重復性<0.1% 1sigma，樣品反射率0.05%-100%，樣品高度≤100mm，XY平臺行程150mm，重量67kg，尺寸480mm(W)x604mm(D)x754mm(H)。