白光干涉儀S neox的數據分析深度
獲取樣品表面的三維形貌數據是第一步,而從海量三維數據中提取出有意義的、與研究方向或質量控制目標直接相關的參數,才是測量的最終目的。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀所配套的SensoMAP軟件,提供了豐富且深入的數據分析工具集,幫助用戶深度挖掘三維數據背后蘊含的信息。
軟件的分析功能覆蓋了從基礎到高級的多個層面。最基本的分析包括表面粗糙度與波紋度分析。軟件內置了符合ISO 25178等國際標準的一系列區域參數,如Sa(算術平均高度)、Sq(均方根高度)、Sz(最大高度)等,可以全面量化表面的紋理特征。同時,也支持符合ISO 4287的點、線參數分析,滿足不同行業的習慣標準。除了通用的粗糙度參數,軟件還提供針對特定應用的功能性分析模塊。例如:
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體積分析:對于摩擦學、密封性研究,可以計算磨損體積、材料損失量、或軸承的油槽容積。
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臺階高度與尺寸測量:可用于微電子行業測量刻蝕深度、線寬、圖形尺寸等。
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形狀與輪廓分析:可以將測量數據與標準幾何圖形(如直線、圓、平面)進行擬合,評估工件的直線度、圓度、平面度等形位公差。
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孔隙率分析:對于多孔材料或涂層,可以識別并統計孔隙的數量、面積、深度分布。
軟件強大的數據處理能力還體現在對測量結果的后期處理上。用戶可以進行傾斜校正、去除形狀誤差(Form Removal)、應用濾波器(高斯濾波、中值濾波等)以分離粗糙度和波紋度。這些功能對于去除裝夾傾斜或基板固有曲率的影響,從而真實反映所關注表面尺度的特征至關重要。數據的可視化對于理解分析結果非常有幫助。SensoMAP軟件能夠生成高質量的三維形貌圖、二維輪廓曲線、偽彩圖等,并允許用戶自由旋轉、縮放視角,從不同角度觀察樣本。分析結果可以方便地導出為圖像、圖表或數據表格,便于撰寫報告和學術論文。此外,軟件的批處理分析和宏記錄功能,允許用戶將一套復雜的分析流程保存下來,應用于批量測量的所有數據上,自動生成統一的報告,極大地提升了數據分析的效率。綜上所述,Sensofar S neox的價值不僅在于其能夠獲取高精度的三維數據,更在于其配套軟件所提供的深度數據分析能力。它將原始的點云數據轉化為具有明確物理意義和工程價值的定量參數,幫助用戶在科研和工業檢測中做出基于數據的判斷。
白光干涉儀S neox的數據分析深度