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產品中心三維光學輪廓儀BEUKER白光干涉光學輪廓儀認識布魯克白光干涉光學輪廓儀
產品簡介
認識布魯克白光干涉光學輪廓儀白光干涉技術，作為一種非接觸式的光學測量方法，為微觀世界的表面形貌分析提供了有效工具。
產品分類
白光干涉技術，作為一種非接觸式的光學測量方法，為微觀世界的表面形貌分析提供了有效工具。布魯克公司生產的白光干涉光學輪廓儀，基于此原理，通過分析參考鏡與樣品表面反射光產生的干涉條紋，來重建表面的三維形貌信息。認識布魯克白光干涉光學輪廓儀
該儀器核心在于其光學系統。其光源通常采用長壽命的LED白光光源，提供穩定且色差小的照明。分光組件與高數值孔徑的物鏡精密配合，確保了干涉信號的高對比度。儀器主體結構多采用航空級鋁合金材料，配合主動隔震系統，保證了在多種環境下的測量穩定性，有效隔離地面振動帶來的噪聲干擾。
在性能表現上，該設備能應對從超光滑到相當粗糙的各種表面。其垂直分辨率可達亞納米級別，能夠分辨出極其細微的高度差。橫向分辨率則與所選物鏡的放大倍率相關，使用高倍物鏡時可達到微米量級。測量速度方面，得益于優化的算法和硬件，單次測量可在數秒內完成，適合進行多點統計性測量。
型號示例: ContourX系列
用途: 適用于研發與質量檢測領域，如半導體、微機電系統、光學薄膜、材料科學等表面的三維形貌、粗糙度、臺階高度等參數測量。
使用簡述: 操作通過電腦軟件控制。將樣品置于樣品臺上，選擇合適倍率的物鏡，在軟件中調整光強和掃描范圍，啟動自動測量程序即可獲取數據，并可進行后續分析。
簡要參數參考:
垂直分辨率: < 0.1 nm
最大垂直掃描范圍: 可達數毫米
物鏡選項: 2.5X, 10X, 20X, 50X, 100X 等
平臺移動范圍: 依型號而定，通常為 100mm x 100mm 或更大
認識布魯克白光干涉光學輪廓儀