Sensofar Metrology作為光學(xué)測量領(lǐng)域的參與者，其S neox和LIN系列三維光學(xué)輪廓儀集成了多種光學(xué)測量技術(shù)，包括共聚焦、白光干涉（VSI）和相移干涉（PSI），為微觀表面的三維形貌測量提供了多樣的解決方案。

S neox系列是平臺(tái)型產(chǎn)品，其核心特點(diǎn)在于一臺(tái)儀器上融合了多種測量模式。用戶可以根據(jù)樣品的表面特性（如粗糙度、斜率、反射率）自由選擇最合適的測量技術(shù)。對(duì)于陡峭邊緣和粗糙表面，共聚焦模式表現(xiàn)出色；而對(duì)于光滑表面進(jìn)行納米級(jí)測量時(shí)，白光干涉模式則能提供所需的數(shù)據(jù)。這種靈活性使S neox能夠應(yīng)對(duì)復(fù)雜的測量挑戰(zhàn)。

LIN系列則更側(cè)重于經(jīng)濟(jì)性與實(shí)用性，主要提供共聚焦和白光干涉兩種基本模式，在保證核心測量性能的同時(shí)，簡化了系統(tǒng)配置，降低了用戶的使用門檻。

在制造用材上，Sensofar儀器通常采用穩(wěn)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)和熱穩(wěn)定性好的材料，以抑制外界振動(dòng)和溫度漂移對(duì)測量結(jié)果的影響。其核心光學(xué)部件，如物鏡和光源，均經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，以確保成像質(zhì)量和測量信號(hào)的穩(wěn)定性。

簡要技術(shù)參數(shù)對(duì)比（示例）：

這些儀器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、材料科學(xué)、精密制造等行業(yè)，用于測量表面粗糙度、臺(tái)階高度、體積、磨損等關(guān)鍵參數(shù)。操作上，它們通常配備直觀的軟件界面，引導(dǎo)用戶完成從圖像采集、數(shù)據(jù)處理到生成分析報(bào)告的全過程。