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PRODUCTS CNTERSensofar S neox:多模式測量平臺Sensofar S neox 3D光學輪廓儀的設計理念是集成與靈活。它并非單一技術儀器,而是一個將共聚焦成像、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI)三種核心技術融于一身的多模式測量平臺.
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Sensofar S neox 3D光學輪廓儀的設計理念是集成與靈活。它并非單一技術儀器,而是一個將共聚焦成像、白光干涉(VSI)和相移干涉(PSI)三種核心技術融于一身的多模式測量平臺。
這種多模式能力意味著用戶在面對不同特性的樣品時,無需更換設備即可完成測量。例如,測量一個既有光滑區域又有粗糙區域的復合樣品時,可以先使用共聚焦模式掃描粗糙部分,再切換至白光干涉模式測量光滑區域的納米級細節。儀器軟件可智能輔助模式選擇,甚至支持在同一測量區域內自動切換模式,確保每個區域都能用最合適的技術進行采集,從而獲得完整且準確的三維形貌數據。
S neox在機械結構上注重穩定性,采用 rigid 的設計和材料以減少環境干擾。其自動物鏡轉盤可容納多達5個物鏡,實現從大視場導航到高分辨率細節測量的無縫切換,倍率范圍可從2.5X覆蓋至100X甚至更高。
在性能方面,其共聚焦模式能有效處理高斜率和低反射率表面,而白光干涉模式則提供了亞納米級的垂直分辨率,適用于超光滑表面的精密檢測。
用途廣泛:
微電子: 測量MEMS器件、硅片凸點、薄膜臺階。
*材料: 分析涂層、復合材料、粗糙表面的3D紋理。
精密光學: 檢測非球面、自由曲面鏡子的面形和粗糙度。
使用說明: 用戶通過軟件選擇測量區域和所需的技術模式,設置掃描參數后,儀器可自動完成對焦、掃描和數據分析。高級的圖像拼接功能允許將多個視場的數據合并,創建大面積的高分辨率三維圖像。
對于研發實驗室或需要應對多種類、多要求樣品的質量控制部門,S neox的多功能性和靈活性提供了一個較為全面的解決方案。